FS800 器件參數分析儀
FS800器件參數分析儀是概倫電子的新一代半導體器件電學特性分析設備。
采用自主研發的測試硬件架構和數據總線,支持包括高精度SMU在內的多種自研測試模塊,功能全面,配置靈活,擴展性強。
在一個FS800系統中幾乎可完成所有半導體器件的電性表征,支持電流電壓(IV)測試、電容電壓(CV)測試、脈沖式IV測試、任意線性波形發生與測量、低頻噪聲測試、高速波形發生與釆集測試等能力。
采用靈活的模塊化體系結構,在同一機箱內可同時安裝高精度SMU和低漏電矩陣開關模塊,在單臺臺式設備內即可實現晶圓級器件電性參數的自動化測試。
直觀的18.5英寸觸摸屏界面。
內置電性參數測試軟件LabExpress提供豐富的測試預設和強大的數據處理功能,支持腳本化編程平臺,可以靈活實現自定義算法和快速擴展。
廣泛應用于各種半導體器件、LED材料、二維材料器件、金屬材料、新型先進材料與器件測試、器件可靠性等研究領域